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上海集成電路裝備材料基金總規模不低於100億元，首期50億元，由國傢大基金、臨港管委會、國盛集團、南京銀行、上海萬業企業等單位共同出資。基金管理公司將由上海浦東科技投資有限公司和華芯投資管理有限責任公司聯合組建。
為進一步增強基金的投資實力，國開行上海市分行、臨港管委會、華芯投資和上海浦東科投共同簽署瞭支持上海集成電路產業發展的合作備忘錄。國開行上海市分行將為該基金投資項目提供100億元配套資金支持，基金可投資能力將增加至200億元。
根據上海市集成電路產業發展領導小組辦公室的有關要求，該基金作為上海500億元集成電路產業基金的組成部分，具體由臨港管委會牽頭組建。目前臨港地區已啟動“上海臨港IC與智能裝備產業示范園區”建設，新昇半導體、旻艾信息科技、凱世通等項目已相繼落戶臨港。臨港管委會表示，臨港將按照“基金+基地”發展戰略，以政府資金為引導，集中政策資源和社會資本資源，吸引更多的優秀企業來臨港落戶發展，推動集成電路產業在臨港加速集聚。
下一步，基金將結合國內裝備材料企業小而散的現狀，抓住下遊廠商增線擴產的有利契機，圍繞國內薄弱環節和關鍵領域，依托國傢集成電路產業投資基金的產業資源、上海市以及上海臨港地區的政策優台中坐月子中心價格勢、上海浦東科技投資有限公司以及華芯投資管理有限責任公司的管理能力，開展整合型投資、嫁接型投資和引進型投資等多種運作方式，充分發揮好資本的力量，在關鍵細分領域培育若幹具有全球影響力的裝備材料企業，帶動我國集成電路產業鏈的整體躍升。
簽約儀式後，還舉行瞭“首屆集成電路裝備材料產業·滴水湖論壇”，一批國內外知名專傢、企業傢圍繞“如何提升上海集成電路裝備材料產業的國際台中產後護理競爭力”建言獻策，為基金的後續投資指引瞭方向。
上海市發改委、市經信委、市科委、市國資委、市財政局、市金融辦、浦東新區、國傢集成電路產業投資基金股份有限公司、中科院微電子所、中科院上海微系統所、國傢開發銀行上海市分行、華芯投資管理有限責任公司、上海華虹(集團)有限公司、中微半導體、上海科技創業投資（集團）有限公司、上海國盛（集團）有限公司、上海浦東科技投資有限公司、上海矽產業集團及新昇半導體科技有限公司等相關單位負責同志出席儀式。
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